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民國元年（1912），五原廳改縣，仍統(tǒng)領今臨河區(qū)境。民國14年（1925）9月14日，國民政府內務部批準，設置臨河設治局，析五原縣豐濟渠以西為其行政區(qū)域，駐永濟鎮(zhèn)。民國18年（1929）1月21日，國民政府行政院內務部核準，將臨河設治局改設臨河縣，隸屬綏遠省。民國31年（1942），綏遠省在后套實行“新縣制”，劃出臨河縣西部北部地和西南部地區(qū)設置米倉縣（今三道橋）；劃出臨河縣北部和東部地區(qū)設置狼山縣（今狼山鎮(zhèn)）；在陜壩地區(qū)設立陜壩市政籌備處（縣級）。民國34年（1945）9月，臨河縣隸屬綏遠省在陜壩設置的綏西專員公署。